1.高真空气动挡板阀(GDQ)
　　通常真空等离子清洗机在短时间待机状态下会保持真空泵处于运行状态，高真空气动挡板阀用于接通或切断真空管路中的气流，以实现真空腔体抽真空的启动和关闭。
　　高真空气动挡板由压缩空气作为动力，稳定可靠，而且维护方便，在真空等离子清洗机中被广泛应用。
　　2.电磁真空带充气阀(DDC)
　　电磁真空带充气阀用于真空泵随运行参数启动的真空等离子清洗机，属于电磁阀类。当真空泵运行时电磁真空带充气阀打开，真空泵关闭时阀门线圈断电阀门靠机械力关闭，其主要作用是防止真空泵内油气因真空腔体内负压作用而被倒吸。
　　电磁真空带充气阀安装简单，但稳定性相对较差，长时间使用，阀门磁力会衰退同时复位弹簧易反应迟缓，目前大多被应用于实验型真空等离子清洗机。
　　3.手动高真空角阀
　　真空等离子清洗机所用的手动高真空角阀通常为定制型，主要用于手动控制真空气路通断、分断测压等。通常会在角阀上焊接一个KF16接头，以便连接真空计。
　　这种阀门在真空等离子清洗中已经很少被应用，主要应用于部分实验设备及真空管道检漏。

      下面，我们来说说真空等离子清洗机的气路控制布局及特点。
　　1、常用气路控制布局
　　真空等离子清洗机常规气路通常包括两路工艺气体控制、一路破空气体控制、一路压缩空气(CDA)控制。
　　2、各气路组成部分及特点
　　压缩空气控制部分只需要气体高压、过滤器及带输出报警压力表整套组件，不需要其他的组件。因为CDA为部分元件的动力气体，只需要在气体压力不足时提供报警服务即可。
　　破空气体部分是在CDA控制气路基础上增加一支大口径的真空电磁阀，在工艺运行结束后为真空腔体提供破真空气体输入服务。因为破真空气体通常为高洁净气体，所以部分破真空气路中没有安装过滤器。
　　工艺气体通常为高洁净气体，过滤器通常也是选装组件。工艺气体控制部分主要包括调压阀、过滤器、带报警输出报警表、真空电磁阀和质量控制器。工艺气体通常配置两路，可以根据要求配置多路。
　　3、真空等离子清洗机的气体各控制组件及进气顺序如下：过滤器→调压阀，带报警输出压力表→真空电磁阀→质量控制器