crf真空等离子清洗机对双基片台表面的改性有什么效果：
       金刚石有着强的硬度、热导率、化学稳定性及其光学反射率等物理和化学性能，这些优异性能，使得金刚石在许多领域都可以作为一种理想材料。例如可以用作电子束引出窗口、高频高功率电子器件、高灵敏的表面声学波滤波器、切削工具等。

       crf真空等离子清洗机化学气相沉积(MPCVD)金刚石进行合法性制备，MPCVD法制金刚石的优势变得十分明显，世界高端金刚石基本上都是通过MPCVD与其他生长方法相比，MPCVD法律原因具有无极放电、生长速度快、金刚石杂质少等优点，已成为金刚石生长的理想方法。
       近年来，MPCVD技术获得了较大突破，对金刚石沉积工艺参数影响的探讨已经趋于成熟，但对MPCVD装置谐振腔的研究还有待进一步深人。微波谐振腔是MPCVD该装置的核心部件和不同射频真空等离子体清洗机的微波谐振腔结构会影响电场的强度和分布，从而影响等离子体的状态，并相应地影响钻石沉积的质量和速率。MPCVD装置微波谐振腔的结构探讨对于金刚石生长方面也是有着价值的。
       常用的MPCVD法生长金刚石所用的谐振腔有不锈钢谐振腔式和石英钟罩式，石英钟罩式利于生长大面积的金刚石薄膜，但速率较慢且容易污染石英管，而不锈钢谐振腔式设备则有着生长速率快的特点。